吉林2020年重点工业企业与风电企业补充交易结果公布

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（a）当ZnO/Au界面为肖特基接触时，年重各种应变下Li掺杂薄膜的I-V特性，年重插入是界面为欧姆接触时的I-V特性;（b）在单个Au/ZnO/=Au单元的应变下的带结构变化。结果表明，点工Li掺杂薄膜压电装置在实际应用中具有良好的应用前景。

薄膜阵列感测程序可以通过一个连续的薄膜完成，业企业该薄膜绕过感测层的光刻过程，业企业因此感测层可以沉积得更厚，以便从平面内到外面的方向传递更多的变形，以进一步增强压电元件效果和敏感度。总共40×40传感器布置在12×12mm2的区域内，风电这是目前面内应变传感装置的最高空间分辨率。在每个传感单元上进行校准后，企业通过传感器阵列成功地测量并映射了应用于器件上的应变分布，企业这显示了基于薄膜的压电式晶体管阵列在高空间分辨率，高灵敏度场的变形传感应用中的巨大潜力。

补充图4.薄膜压电晶体管阵列的电学与力学性能。此外，公布薄膜结构与微电子技术相比在纳米线方面更加技术兼容。

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年重将元素Li掺杂到ZnO薄膜中以增强薄膜的压电效应。该多级结构的介观尺度特殊排列决定了材料的性能，点工且纳米尺度微纤结构对材料的力学性能影响最大。

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